EMS7620离子溅射镀膜仪

美国EMS7620离子溅射镀膜仪（EMS7620“Mini” Sputter Coater）
EMS7620溅射镀膜仪是一台结构紧凑、价格低廉的磁控离子溅射镀膜仪。如与镀碳附件(EMS7640-CF)结合使用，为理想的低价位扫描电镜溅射、镀碳系统。EMS7620耐用、易操作，质保期3年。
 
主要特点：
价格低 
易操作 
磁控溅射头 
紧凑设计
快速循环时间（典型为2-3分钟）
可选碳丝蒸镀
样品台高度可调
快速换靶（标配为金/钯合金）
符合所有新的*标准：包括机电互锁，以确保使用镀碳附件时溅射头断电
可靠耐用
3年质保
操作简便：EMS7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用,EMS7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控溅射头，带有易更换的圆片靶（标配为金/钯合金）。溅射头为方便的铰链式，并具有电*互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能，以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度，以改变等离子电流；气体注入系统可预设等离子放电。 
*件：推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵，随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵，确保它的容量为50 l/m 或更优是非常重要的。 
可选附件:- 镀碳仪 
EMS7620可选配镀碳附件(EMS7640-CF)，包括蒸发电源和碳丝头。镀碳附件很*安装。用碳丝头替换铰链式连接的溅射头即可。为确保暴露在外的溅射头不被供电，安装了机电互锁装置，以确保溅射头断电。
靶材的选择：
金/钯合金作为标配。与金相比，颗粒更细。
金：通常为可以选择。
铂：溅射颗粒尺寸比金和金/钯合金还要细小。溅射速率减慢，价格比金和金/钯合金昂贵一些。
银：与其它金属比较，银镀层*取下，较适用于博物馆和法院的样品镀膜。
钯：用于X-射线微量分析时，常用来取代金、金/钯和铂。
所有的靶尺寸均为57mm直径x0.1mm厚（除非另外*） 
产品订购信息：
货号 产品名称 规格 
EMS7620 ‘Mini’ Sputter Coater each 
91017-AU Gold (Au) target each 
91017-AP Gold/palladium (Au/Pd) target each 
91017-PT Platinum (Pt) target each 
91017-AG Silver (Ag) target each 
91017-PD Palladium (Pd) target each 
91017-.2-AU Gold target (Au) 0.2mm thick each 
91017-.2-AP Gold/palladium (Au/Pd) target 0.2mm thick each 
91017-.2-PT Platinum (Pt) target 0.2mm thick each 
91003 RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter (115/230V 50/60Hz) each 
96000 Replacement oil mist filter替换的油雾过滤器 each 
91040 Carbon evaporation attachment — EMS 7640 each 
91006 Film Thickness Monitor（可选件） each